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在正常情况下，空气中各组分是以稳定分子的形式存在的，它们随着压力、温度的变化而发生移动，不会与任何物质发生剧烈的化学反应，当环境发生变化，例如温度不断升高、增加空气压力等，空气的稳定状态被破坏，分子逐渐离解成为带有正负电荷的离子，因为它们总体的电荷为零，因此正负离子的数量相同，它们不再以气体的形式存在，成为等离子。

废气处理设备中会有等离子的应用，它们具有活跃的化学性质，能够与其它物质发生化学发行，氧离子的氧化作用改变废气中分子的固有结构，使其成分逐渐被氧化成的物质，这种方法原理比较简单，设备中只需要增加一个不断升温的装置就可以完成等离子的制备和利用。

这种处理废气的方式比较，任何经过废气处理设备的物质都能够与等离子发生反应，无论是惰性气体还是化学性质活泼的气体，尤其对一些难以处理的挥发性气体，等离子净化装置能够地完成处理过程。比起活性炭净化装置，这种设备不需要定期换耗材，效率也了提升。人们可以根据废气的流速和浓度来设置管道的尺寸，只要安装没有问题，后续的使用过程就不会出现太大的问题，可以节省维护人员的配备，设备操作起来比较简单，基本上不需要提前设置参数，只要带来机器，废气就可以通过机器到达排放口，排到空气中的废气是净化过的洁净气体。