等离子设备中频，射频等离子处理机型；处理方式有水平、垂直、卷式RTR、转鼓等真空等离子处理设备和喷射、准辉光、隧道、水平线多种常压等离子处理设备；
等离子处理机具有高稳定性、、高均匀性等诸多优点。
特色鲜明的处理腔体形状和电结构可以满足不同形状、不同材质的表面处理要求，包括薄膜、织物、零件、粉体和颗粒等。
低温等离子体表面处理设备、水平式低温等离子体表面处理设备、卷对卷式低温等离子体表面处理设备、以及大气压辉光放电表面处理设备。
低温等离子体的电离率较低，电子温度远高于离子温度，离子温度甚至可与室温相当。所以低温等离子体是非热平衡等离子体，低温等离子体中存在着大量的、种类繁多的活性粒子，比通常的化学反映所产生的活性粒子种类 多、活性 强， 易于和所接触的材料表面发生反映，因此它们被用来对材料表面进行改性处理。
与传统的方法相比，等离子体表面处理具有成本低、无废弃物、 等显著的优点，同时可以传统的化学方法难以达到的处理效果。现在低温等离子设备广泛运用于金属、微电子、聚合物、生物功能材料、低温及污染治理等多种。
